1. Einleitung. - 2. Methoden zur Herstellung dünner Schichten. - 2. 1 Chemische und elektrochemische Methoden. - 2. 2 Kathoden-Sputtern. - 2. 3 Vakuum-Verdampfung. - 3. Messmethoden für Dünnschichtdicke und Abscheidungsrate. - 3. 1 Methoden des Gleichgewichts. - 3. 2 Elektrische Methoden. - 3. 3 Optische Verfahren. - 3. 4 Überwachung der Abscheidungsrate durch Impulsübertragung. - 3. 5 spezielle Methoden zur Dickenüberwachung. - 4. Mechanismus der Filmbildung. - 4. 1 Entstehungsstadien dünner Schichten. - 4. 2 Keimbildung. - 4. 3 Wachstum und Verschmelzung der Inseln. - 4. 4 Einfluss verschiedener Faktoren auf die endgültige Struktur der Folie. - 4. 5 Kristallographische Struktur dünner Schichten. - 4. 6 epitaktische Filme. - 5. Zusammensetzung, Morphologie und Struktur dünner Schichten. - 5. 1 Verfahren zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung von Filmen. - 5. 2 Elektronenmikroskopie dünner Schichten. - 5. 3 Beugung von Elektronen. - 5. 4 Röntgenmethoden. - 5. 5 Auger-Spektroskopie. - 6. Eigenschaften dünner Schichten. - 6. 1 Mechanische Eigenschaften. - 6. 2 Elektrische und magnetische Eigenschaften dünner Schichten. - 6. 3 Optische Eigenschaften dünner Schichten. - 7. Anwendung dieser Folien. - 7. 1 Optische Anwendungen. - 7. 2 Anwendungen in der Elektronik. -Referenzen. Sprache: Englisch